產生X射線的原理是用加速后的電子撞擊金屬靶,撞擊過程中電子突然減速,其損失的動能(以光子形式放出,形成X光光譜連續(xù)部分。通過加大加速電壓,電子攜帶的能量增大將金屬原子的內層電子撞出。于是內層形成空穴,外層電子躍遷回內層填補空穴,同時放出波長在0.1納米左右的光子。
X射線的產生途徑是電子的韌制輻射,用高能電子轟擊金屬,如果電子能量很大就可以產生x射線;原子的內層電子躍遷也可以產生x射線,量子力學的理論,電子從高能級往低能級躍遷時候會輻射光子,如果能級的能量差比較大,就可以發(fā)出x射線波段的光子。